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삼성SDI(006400)가 반도체 초미세 회로 공정에서 ‘게임 체인저’ 소재로 각광받는 무기물 포토레지스트(PR) 개발에 착수했다. 무기물 PR은 반도체 노광 공정에서 범용으로 활용하는 유기물 PR보다 튼튼하고 견고한 회로를 만들 수 있는 것이 장점이다. 삼성SDI 외에도 세계적인 반도체 소재 업체들은 무기물 PR 기술 주도권을 잡기 위해 치열한 특허 경쟁을 벌이고 있다.
7일 업계에 따르면 삼성전자(005930)는 지난 2일(현지 시간) 미국에서 열렸던 세계 최대 광공학회 'SPIE 2023'에서 세계 극자외선(EUV)용 PR 동향과 함께 삼성SDI의 무기물 PR 개발 내용을 언급했다. 삼성전자 측은 이 발표에서 “삼성SDI가 삼성전자에 여러 차례 무기물(inorganic) PR 샘플 제품을 공급했다”고 설명했다. 삼성SDI의 무기물 PR 개발 소식이 대중에게 공개된 건 처음이다. 지난 2021년 삼성SDI 전자재료사업부가 PR 개발에 뛰어든 소식이 알려진 이후 약 2년 만에 더욱 구체적인 회사 기술 로드맵이 알려진 것이다.
https://n.news.naver.com/article/011/0004163862
삼성SDI, 차세대 전자재료 ‘무기물’ PR 개발 착수… ‘게임체인저’ 되나
삼성SDI(006400)가 반도체 초미세 회로 공정에서 ‘게임 체인저’ 소재로 각광받는 무기물 포토레지스트(PR) 개발에 착수했다. 무기물 PR은 반도체 노광 공정에서 범용으로 활용하는 유기물 PR보다
n.news.naver.com
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